簡單說的話，靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標材料。有金屬類、合金類、氧化物類等等。例如：蒸發磁控濺射鍍膜是加熱蒸發鍍膜...鋁膜等。更換不同的靶材（如鋁、銅、不銹鋼、鈦、鉻、鎳靶等），即可得到不同的膜系（如超硬、耐磨、防腐的合金膜等）。  主要應用在：  1、微電子領域  2、平面顯示器用靶材  3、存儲技術用靶材等 無相關信息